型号

ZK-110F

ZK-110YCF

ZK-150CF

控制方式

手动控制

手动人机界面控制

手动人机界面控制

前级泵

双极4旋片真空泵

双极4旋片真空泵

无

前级泵抽气速率

2.2L/S   （对真空环境要求洁净的客户可选配无油干泵）

2.2L/S   （对真空环境要求洁净的客户可选配无油干泵）

无

前级泵极限压强

≤5Pa

≤5Pa

无

分子泵

F-100/110  43000转/分

FF-100/150  51000转/分

FF-100/150  51000转/分

分子泵抽气速率

100L/S

140L/S

140L/S

分子泵启动时间

≤3min

≤2min

≤2min

空载极限压强

≤1X10-4Pa

≤1X10-4Pa

≤1X10-4Pa

真空测量范围

电阻单元1E﹢5到1E-1 Pa

电离单元    5到1E-5Pa

冷阴极标准规管 1E﹢2到1E-5 Pa

冷阴极标准规管 1E﹢2到1E-5 Pa

抽气接口

KF25

KF25

KF25

阀门类型

KF25手动挡板阀

KF25手动挡板阀

KF25手动挡板阀

系统电源

AC220V

AC220V

AC220V

系统功率

1.5KW

1．5KW

≤750W

环境温度

5~32℃

5~32℃

5~32℃

冷却方式

强制风冷却

强制风冷却

强制风冷却

湿度

≤80%

≤80%

≤80%

噪音

＜60分贝

＜60分贝

＜60分贝

外形尺寸

430X500X650mm

330X495X550mm

250 X360 X 300mm

重量

65KG

55KG

25KG

随机配件：KF25高真空挡板阀X1个   KF25卡箍X3个   kf25-1.5米不锈钢波纹管x1根   说明书X1本  电源线x1根